La Dott.ssa Stefania Benedetti (Università degli Studi di Modena e Reggio Emilia) è autorizzata:
- all'utilizzo delle seguenti attrezzature del laboratorio LITHO:
- cappa chimica
- glove box
- sistema trattamenti superficiali al plasma
- forno elettrico
- forno a vuoto
- wafer scriber
- all'esecuzione dei seguenti processi:
- etching di film con soluzioni acide o alcaline diluite
- pulizia dei substrati con solventi e/o processo RCA
- rimozione di ossido termico con BOE
Lista generata automaticamente il 21/11/2024 alle ore 8:53:12