Gli agenti chimici del laboratorio LITHO sono conservati in due armadi di sicurezza (uno per i solventi, l'altro diviso in due scomparti per acidi e basi) e nel frigorifero. Si raccomanda di seguire scrupolosamente le indicazioni per lo stoccaggio riportate sul manuale operativo per la sicurezza.
Qui di seguito l'elenco esclusivo degli agenti chimici ammessi per l'utilizzo in laboratorio. Qualsiasi agente chimico rinvenuto nel laboratorio LITHO non compreso in questo elenco sarà smaltito senza preavviso.
Le schede di sicurezza (MSDS) e, ove disponibili, i datasheets, sono conservati in forma cartacea sullo scaffale posto all'ingresso del laboratorio o consultabili online seguendo i corrispondenti link qui sotto.
Acetic acid | |
| CAS # | 64-19-7 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 64-19-7.pdf |
BE 7-1 + LODYNE Laporte electronic | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 70456-74-5.pdf |
| datasheet: | BufferedOxideEchants_brochure.pdf |
Ethylenediaminetetraacetic acid | |
| CAS # | 60-00-4 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 60-00-4.pdf |
Formic acid | |
| CAS # | 64-18-6 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 64-18-6.pdf |
Gold etchant, standard | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | gold etchant standard.pdf |
Hydrochloric acid 37% | |
| CAS # | 7647-01-0 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 7647-01-0.pdf |
Hydrofluoric acid 50% | |
| CAS # | 7664-39-3 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 7664-39-3.pdf |
Nitric acid 69% | |
| CAS # | 7697-37-2 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 7697-37-2.pdf |
Phosphoric acid 85% | |
| CAS # | 7664-38-2 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 7664-38-2.pdf |
Sulphuric acid 96% | |
| CAS # | 7664-93-9 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | acid |
| MSDS: | 7664-93-9.pdf |
Potassium hydroxide | |
| CAS # | 1310-58-3 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | base |
| MSDS: | 1310-58-3.pdf |
Sodium hydroxide | |
| CAS # | 1310-73-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | base |
| MSDS: | 1310-73-2.pdf |
AR 600-55 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | developer |
| note: | for PMMA process |
| MSDS: | ar_600-55_56_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar600-50_englisch.pdf |
AR 600-56 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | developer |
| note: | for PMMA process |
| MSDS: | ar_600-55_56_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar600-50_englisch.pdf |
AZ 726 MIF developer | |
| CAS # | 75-59-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | developer |
| MSDS: | AZ_MIF_726.pdf |
| datasheet: | az_mif_developer.pdf |
Developer for AR resists AR 300-47 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | developer |
| note: | developer for AR resist |
| MSDS: | ar_300-40_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar300-40_englisch.pdf |
Microchem SU8 developer | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | developer |
| note: | for SU8 process |
| MSDS: | su8 developer.pdf |
| datasheet: | SU-82000DataSheet2100and2150Ver5.pdf |
Microposit developer MF 321 | |
| CAS # | 75-59-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | developer |
| note: | for Shipley process |
| MSDS: | MF-321 Developer (49323).pdf |
| datasheet: | MF300seriesdevelopers.pdf |
Microresist ma-D 533-S | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | developer |
| MSDS: | ma-D_533_ma-D_533_S_EN_IT.pdf |
| datasheet: | man_1400.pdf |
X AR 600-54/6 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | developer |
| note: | for CSAR process |
| MSDS: | ar-p_6200_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar600-50_englisch.pdf |
Ammonia solution 30% | |
| CAS # | 1336-21-6 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 1336-21-6.pdf |
Ammonium fluoride etching mixture AF 875-125 | |
| CAS # | 70456-74-5 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 70456-74-5.pdf |
| datasheet: | BufferedOxideEchants_brochure.pdf |
Aquadag Colloidal Graphite in water | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | other |
| MSDS: | Aquadag colloidal graphite.pdf |
| datasheet: | AGG303_Jan14.pdf |
Chlorotrimethylsilane | |
| CAS # | 75-77-4 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | other |
| note: | Prelevare con siringa. Sostituire il volume prelevato con gas inerte. Lavare con triclorometano (cloroformio). |
| MSDS: | 75-77-4.pdf |
Chromium etchant | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | other |
| MSDS: | chromiumetch.pdf |
| datasheet: | Chromium_etch_CAS651826.pdf |
Cryophysics VARNISH | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | other |
Demetron Leitsilber 200 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | other |
| MSDS: | Leitsilber 200.pdf |
| datasheet: | Leitsilber200.pdf |
Hydrogen peroxide 30% | |
| CAS # | 7722-84-1 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 7722-84-1.pdf |
Iodine | |
| CAS # | 7553-56-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 7553-56-2.pdf |
N719 dye | |
| CAS # | 207347-46-4 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 207347-46-4.pdf |
NanoPartz Gold Nanoparticles Kit | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | other |
| MSDS: | Gold nanoparticles.pdf |
Platisol T Solaronix | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | Platisol_T.pdf |
| datasheet: | Note_Platisol_T.pdf |
Sylgard 184 Silicone Elastomer Base | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | other |
| note: | Elastomero siliconico bicomponente per microfluidica. |
| MSDS: | Sylgard184ElastomerBase.pdf |
| datasheet: | 11-3184-sylgard-184-elastomer.pdf |
Sylgard 184 Silicone Elastomer Curing Agent | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | other |
| MSDS: | Sylgard184CuringAgent.pdf |
| datasheet: | 11-3184-sylgard-184-elastomer.pdf |
Titanium(IV) oxide, anatase | |
| CAS # | 1317-70-0 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 1317-70-0.pdf |
Titanium(IV) oxide, rutile | |
| CAS # | 1317-80-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 1317-80-2.pdf |
Zinc oxide | |
| CAS # | 1314-13-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | other |
| MSDS: | 1314-13-2.pdf |
AR 300-72 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | remover |
| note: | for CSAR process (NEP) |
| MSDS: | ar_300-70_nep_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar600-70-71_300-76-70-72-73_englisch.pdf |
AR 600-71 | |
| CAS # | 646-06-0 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | remover |
| note: | Remover for CSAR process (dioxolane) |
| MSDS: | ar_600-71_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar600-70-71_300-76-70-72-73_englisch.pdf |
Microposit remover 1165 | |
| CAS # | 872-50-4 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | remover |
| note: | NMP |
| MSDS: | rem1165.pdf |
| datasheet: | ShipleyMicroposit1165.pdf |
mr-Rem 660 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | remover |
| note: | for SU8 process |
| MSDS: | 872-50-4.pdf |
| datasheet: | Removers-mr-400-500-2013.pdf |
All Resist SX AR-P 6200/2 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | resist |
| note: | for CSAR process |
| MSDS: | SX AR P 6200.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar-p6200_englisch.pdf |
Dow Corning XR-1541-002 (HSQ electron spin-on resist) | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | resist |
| note: | for HSQ process |
| MSDS: | xr-1541 e-beam resist msds.pdf |
| datasheet: | XR-1541_E-Beam_resist.pdf |
MicroChemicals AZ 2070 - 3.5 um | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | resist |
| MSDS: | Photoresist AZ NLOF 2070.pdf |
| datasheet: | AZ_nLOF2000.pdf |
Microposit S1813 Photo Resist | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | frigorifero |
| categoria: | resist |
| note: | for Shipley process |
| MSDS: | S1813.pdf |
| datasheet: | S1800seriesDataSheet.pdf |
Negative E-Beam Resists AR-N 7500.18 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | resist |
| note: | negative EBL resist |
| MSDS: | ar-n_7500_en-gb1.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar-n7500_englisch.pdf |
Negative Photoresist Series ma-N 1420 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | resist |
| note: | Negative photoresist |
| MSDS: | ma_n_1400.pdf |
| datasheet: | man_1400.pdf |
PMMA AR-P 679.01 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | resist |
| note: | for PMMA process |
| MSDS: | ar-p_639-679_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar-p630-670_englisch.pdf |
PMMA AR-P 679.04 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | resist |
| note: | for PMMA process |
| MSDS: | ar-p_639-679_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar-p630-670_englisch.pdf |
PMMA-MA 33% AR-P 610.01 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | resist |
| note: | For PMMA process. 1% PMMA in 2-Methoxyethanol |
| MSDS: | 109-86-4.pdf |
| datasheet: | arp610_617_uk.pdf |
SU8 photoresist | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | resist |
| note: | for SU8 process |
| MSDS: | SU-8 2000.pdf |
| datasheet: | SU-82000DataSheet2100and2150Ver5.pdf |
Ammonium fluoride 40% | |
| CAS # | 12125-01-8 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 12125-01-8.pdf |
Ammonium persulfate | |
| CAS # | 7727-54-0 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 7727-54-0.pdf |
Ammonium sulfite monohydrate 92% | |
| CAS # | 7783-11-1 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 7783-11-1.pdf |
Ammonium sulphide 20% | |
| CAS # | 12135-76-1 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 12135-76-1.pdf |
Iron(III)chloride hexahydrate | |
| CAS # | 10025-77-1 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 10025-77-1.pdf |
Lithium chloride anhydrous | |
| CAS # | 7447-41-8 |
| collocazione: | armadio acidi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 7447-41-8.pdf |
Lithium iodide | |
| CAS # | 10377-51-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 10377-51-2.pdf |
Potassium hexacyanoferrate(III) | |
| CAS # | 13746-66-2 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 13746-66-2.pdf |
Potassium iodide | |
| CAS # | 7681-11-0 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 7681-11-0.pdf |
Sodium nitrate | |
| CAS # | 7631-99-4 |
| collocazione: | armadio basi |
| categoria: | salt |
| MSDS: | 7631-99-4.pdf |
1-Methoxy-2-propyl-acetate | |
| CAS # | 108-65-6 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 108-65-6.pdf |
2-propanol | |
| CAS # | 67-63-0 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 67-63-0.pdf |
3-Methoxypropionitrile | |
| CAS # | 110-67-8 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 110-67-8.pdf |
4-Methyl-2-Pentanone | |
| CAS # | 108-10-1 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 108-10-1.pdf |
Acetone | |
| CAS # | 67-64-1 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 67-64-1.pdf |
Acetonitrile | |
| CAS # | 75-05-8 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 75-05-8.pdf |
AR 600-02 Thinner | |
| CAS # | 100-66-3 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| note: | For CSAR process. Thinner. |
| MSDS: | AR_600-02_anisole_eng.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar300-12_600-01-02-07-09_englisch.pdf |
Chlorobenzene | |
| CAS # | 108-90-7 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 108-90-7.pdf |
Ethanol | |
| CAS # | 64-17-5 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 64-17-5.pdf |
Ethyl Cellulose | |
| CAS # | 9004-57-3 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 9004-57-3.pdf |
Ethyl lactate | |
| CAS # | 97-64-3 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 97-64-3.pdf |
Hexamethyldisilazane | |
| CAS # | 999-97-3 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 999-97-3.pdf |
Methanol | |
| CAS # | 67-56-1 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 67-56-1.pdf |
n-Butyl acetate | |
| CAS # | 123-86-4 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 123-86-4.pdf |
Terpineol | |
| CAS # | 8000-41-7 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 8000-41-7.pdf |
Tetrahydrofuran | |
| CAS # | 109-99-9 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 109-99-9.pdf |
Trichloroethylene | |
| CAS # | 79-01-6 |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | solvent |
| MSDS: | 79-01-6.pdf |
AR 600-60 | |
| CAS # | N.A. |
| collocazione: | armadio solventi |
| categoria: | stopper |
| note: | for PMMA process |
| MSDS: | ar_600-60_en-gb.pdf |
| datasheet: | allresist_produktinfos_ar600-60_englisch.pdf |
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