Il Dott. Alberto Ghirri (CNR - Istituto Nanoscienze) è autorizzato:
- all'utilizzo delle seguenti attrezzature del laboratorio LITHO:
- cappa chimica
- glove box
- mask aligner
- spin coater
- hotplate
- sistema trattamenti superficiali al plasma
- forno a vuoto
- forno elettrico
- microscopio ottico
- all'esecuzione dei seguenti processi:
- pulizia dei substrati con solventi e/o processo RCA
- sviluppo del resist con relativo developer
- rimozione del resist con NMP o altro solvente
- rimozione di ossido termico con BOE
- etching di film con soluzioni acide o alcaline diluite
- deep etching del Si con soluzione KOH
Lista generata automaticamente il 9/05/2024 alle ore 22:42:34