La Dott.ssa Rita Tonini (Università degli Studi di Modena e Reggio Emilia) è autorizzata:
- all'utilizzo delle seguenti attrezzature del laboratorio LITHO:
- all'esecuzione dei seguenti processi:
- pulizia dei substrati con solventi e/o processo RCA
- rimozione di ossido termico con BOE
- etching di film con soluzioni acide o alcaline diluite
Lista generata automaticamente il 10/05/2024 alle ore 3:26:13