La Dott.ssa Beatrice Bighi (Università degli Studi di Modena e Reggio Emilia) è autorizzata:
- all'utilizzo delle seguenti attrezzature del laboratorio LITHO:
- sistema trattamenti superficiali al plasma
- cappa chimica
- spin coater
- hotplate
- microscopio ottico
- forno a vuoto
- forno elettrico
- all'esecuzione dei seguenti processi:
- pulizia dei substrati con solventi e/o processo RCA
- sviluppo del resist con relativo developer
- rimozione del resist con NMP o altro solvente
- etching di film con soluzioni acide o alcaline diluite
Lista generata automaticamente il 10/05/2024 alle ore 5:14:47