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HMDS vapor prime

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Questa procedura serve per la promozione dell'adesione del fotoresist attraverso la disidratazione sottovuoto della superficie e la successiva protezione dall'assorbimento di umidità  attraverso l'applicazione di uno strato passivante di HMDS (Hexamethyldisilazane, CAS# 999-97-3, vedi scheda di sicurezza) in fase di vapore. La procedura si esegue interamente entro il forno a vuoto.

Preparazione:

  1. aprire il rubinetto dell'aria compressa sulla parete fuori da box;
  2. aprire valvola della bombola e rubinetto "azoto Suss" sulla parete fuori dal box;
  3. aprire i rubinetti aria e azoto per il forno a vuoto (di fianco al filtro aria HEPA);
  4. assicurarsi che le valvole "vacuum", "gas" e "vent" sulla parte alta del pannello frontale del forno siano chiuse;
  5. accendere l'interruttore generale del forno (interruttore sul forno);
  6. accendere la pompa da vuoto (interruttore sulla parte bassa del forno);
  7. chiudere la valvola di pompaggio (interruttore sulla parte bassa del forno);
  8. portare il forno a 150 °C (tempo di riscaldamento circa 1 ora).

Procedura:

  1. inserire il wafer nel forno;
  2. accendere il riscaldatore del contenitore di HMDS (interruttore rosso sul fianco destro del forno);
  3. accendere il baratron (unità  di controllo sopra il forno);
  4. aprire la valvola di pompaggio e pompare fino a 10 torr;
  5. chiudere la valvola da vuoto;
  6. aprire la valvola "vent" e immettere N2 fino a 600 torr (manometro analogico sul forno indica 6" Hg);
  7. chiudere la valvola "vent";
  8. ripetere per tre volte dal punto 4;
  9. aprire la valvola di pompaggio e pompare fino a 1 torr;
  10. chiudere la valvola da vuoto;
  11. aprire la valvola "gas" e immettere HMDS fino a 6 torr;
  12. chiudere la valvola "gas";
  13. attendere 5";
  14. aprire la valvola di pompaggio e pompare fino a 1 torr;
  15. aprire la valvola "vent" e immettere N2 fino a 600 torr (manometro analogico sul forno indica 6" Hg);
  16. chiudere la valvola "vent";
  17. aprire la valvola di pompaggio e pompare fino a 10 torr;
  18. chiudere la valvola da vuoto;
  19. ripetere per due volte dal punto 15;
  20. aprire la valvola "vent" e immettere N2 fino alla pressione atmosferica;
  21. chiudere la valvola "vent";
  22. spegnere il riscaldatore del contenitore di HMDS (interruttore rosso sul fianco destro del forno);
  23. estrarre il wafer;

Spegnimento:

  1. spegnere la pompa da vuoto (interruttore sul forno);
  2. portare il termostato a 0 °C;
  3. spegnere l'interruttore generale del forno (interruttore sul forno);
  4. spegnere il baratron (unità  di controllo sopra il forno);
  5. assicurarsi che le valvole "gas" e "vent" sul pannello frontale del forno siano chiuse;
  6. chiudere i rubinetti aria e azoto per il forno a vuoto (di fianco al filtro aria HEPA);