Nel luglio 2006 è stato installato presso il centro S3 un sistema di deposizione e co-deposizione di materiali mediante sputtering, mod. MiniLab, costruito dalla ditta Moorfield Associates, UK. Il sistema, del costo di € 120.000,00, è stato installato temporaneamente presso il laboratorio Sup&rman, in attesa di una sistemazione definitiva presso il nuovo laboratorio litografico. A questo investimento si aggiungono le spese sostenute per il funzionamento del laboratorio, qui sotto riassunte:
materiale | descrizione | importo |
spese aggiuntive per l'installazione del sistema per sputtering | chiller da 1.4 kW per la produzione a circuito chiuso di acqua raffreddata; target di MgO e SiO2 per il collaudo del sistema; bombole, valvole e raccorderia per i gas necessari al funzionamento (Ar e N2) | € 4.668,13 |
messa in opera di altre macchine | raccorderia per gas e per vuoto per il forno a vuoto; vacuometro tipo "baratron" per il forno a vuoto; raccorderia per la distribuzione di aria, N2 e vuoto all'interno del box antipolvere; materiale [er la costruzione su misura di tavoli da laboratorio | € 2.874,27 |
armadio di sicurezza per acidi e basi | si affianca all'armadio per solventi acquistato nel 2005 e completa la messa in sicurezza del reagentario | € 1,519.80 |
bilancia di precisione | per la preparazione di soluzioni | € 528,00 |
materiale di consumo | fotoresiste per e-beam; bombole N2; propanolo; acetone; chromium etch; filo in oro per wire bonding | € 2.223,81 |
attrezzatura e materiali per laboratorio | taniche per il recupero dei rifiuti chimici; carta per pesate; carta da filtro; spatole; bacchette in vetro per agitazione | € 330,18 |
totale | € 12.144,19 |