etching di MgO in KOH

preliminare
Calibrazione sorgente Pt mediante la deposizione di 40 Å nominali di Pt su vetrino con segni di pennarello per lift-off. Condizioni di deposizione: Process #16; Film #7; DC; 434 V; 0.10 A; power 4.5%; rate 0.35 Å/s; 15 mTorr; Ar; RT; sorgente piccola; flux #250; 12 rpm. Lo spessore effettivo del film misurato al profilometro risulta essere di 216 Å ± 5 Å.
primo tentativo
Etching del film in soluzione KOH 30% wt/wt. Completo distacco del film di Pt dopo pochi secondi di etching, probabilmente dovuto alla mancanza dello strato di Cr per la promozione dell'adesione.
secondo tentativo
Deposizione di 50 Å di Cr (55 Å nom.) + 250 Å (46 Å nom.) di Pt su MgO con segni di pennarello per lift-off. Lift-off in acetone ed ultrasuoni. Durante il risciacquo in H2O, il film si è parzialmente distaccato, mostrando ancora gravi problemi di adesione.