metallizzazione dei substrati A, B, C e D
Sono qui riassunte le caratteristiche salienti degli ultimi substrati prodotti:
| substrato | temp. softbake LOL | tempo sviluppo | undercut |
| A | 160 °C | 120" | 3.1 µm |
| B | 176 °C | 200" | ≈ 0.0 µm |
| C | 176 °C | 300" | 1.0 µm |
| D | 176 °C | 420" | 1.8 µm |
Questi substrati sono stati metallizzati presso il laboratorio bio-lab con Cr (5 nm) e Au (95 nm).
rimozione del fotoresist
Il fotoresist è stato rimosso usando il remover Shipley 1165. (chiedere ad Elena i dettagli, tempo, temperatura...). Il risultato, dopo la rimozione del fotoresist, è mostrato nelle foto seguenti.
A: 3.6 µm, 12.4 µm
B: 1.9 µm
B: 3.6 µm, 12.6 µm
C: 3.7 µm, 12.0 µm
C: 6.8 µm
La larghezza delle "dita" più sottili è 3.6 µm (invece dei 4.0 µm nominali), mentre la distanza fra le punte è 12.4 µm, invece di 12.0 µm. I crocini di allineamento non sono stati riprodotti perchè l'undercut per il substrato A (3.1 µm) è superiore alla semilarghezza delle linee di fotoresist (2.0 µm).
Per il substrato B l'undercut è circa zero, e quindi per la prima volta è possibile vedere i crocini di allineamento riprodotti correttamente. La larghezza dei "tagli" nella metallizzazione è di 1.9 µm (invece di 2.0 µm nominali sulla fotomaschera).
Ancora il substrato B, nella zona dei contatti. La larghezza delle dita è ancora 3.6 µm (invece dei 4.0 µm nominali), e la distanza fra le punte è di 12.6 µm invece dei 12.0 µm nominali. Nonostante il piccolo grado di undercut (al limite nullo, comunque non visibile al microscopio ottico), i bordi delle metallizzazioni sono regolari e non si osserva la presenza di "fences".
La semilarghezza delle linee di fotoresist relative ai crocini di allineamento (larghezza nominale 2.0 µm) è confrontabile con l'undercut del substrato C (1.0 µm). Questa immagine mostra infatti che il crocino di allineamento è riprodotto parzialmente (si vedono solo le linee diagonali).
Queste geometria "a punta" mostrano un arrotondamento. La distanza fra gli elettrodi è di 6.8 µm, mentre la distanza nominale dovrebbe essere 4.0 µm. La distanza fra i vertici ideali delle punte, ottenuti prolungando i lati dei triangoli è invece di 4.7 µm (linee verdi).